分析范圍0~50微米
分析誤差5%
分析時間30秒
重復性0.1%
電源電壓220V
EDX2000A能量色散X熒光光譜儀(全自動微區(qū)膜厚測試儀)對平面、凹凸、拐角、弧面等簡單及復雜形態(tài)的樣品進行快速對焦分析,滿足半導體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試需求。通過自動化的X軸Y軸Z軸的三維移動,雙激光定位和保護系統(tǒng)。
應用領域
電鍍行業(yè)、電子通訊、新能源、五金衛(wèi)浴、電器設備
汽車制造、磁性材料、貴金屬電鍍、高校及科研院所等
設計亮點
上照式設計,可適應更多異型微小樣品的測試。相較傳統(tǒng)光路,信號采集效率提升以上。可變焦高精攝像頭,搭配距離補正系統(tǒng),滿足微小產(chǎn)品,臺階,深槽,沉孔樣品的測試需求??删幊套詣游灰破脚_,微小密集型可多點測試,大大提高測樣效率。自帶數(shù)據(jù)校對系統(tǒng)。

X熒光測厚儀采用X熒光分析技術,可以測定各種金屬鍍層的厚度,包括單層、雙層、多層及合金鍍層等,它也可以進行電鍍液的成分濃度測定。它能檢測出常見金屬鍍層厚度,無需樣品預處理;分析時間短,僅為數(shù)十秒;即可分析出各金屬鍍層的厚度,分析測量動態(tài)范圍寬,可從0.01M到60M。它是一種能譜分析方法,屬于物理分析方法。當鍍層樣品在受到X射線照射時,其中所含鍍層或基底材料元素的原子受到激發(fā)后會發(fā)射出各自的特征X射線,探測器探測到這些特征X射線后,將其光轉變?yōu)槟M;經(jīng)過模擬數(shù)字變換器將模擬轉換為數(shù)字并送入計算機進行處理;計算機的應用軟件根據(jù)獲取的譜峰信息,通過數(shù)據(jù)處理測定出被測鍍層樣品中所含元素的種類及各元素的鍍層厚度。
我公司集中了國內的X熒光分析﹑電子技術等行業(yè)技術研究開發(fā)及生產(chǎn)技術人員,依靠多年的科學研究,總結多年的現(xiàn)場應用實踐經(jīng)驗,結合的特色,開發(fā)生產(chǎn)出的X熒光測厚儀具有快速、準確、簡便、實用等優(yōu)點。
我公司新研制的X熒光測厚儀,廣泛用于用于鍍層厚度的測量、電鍍液厚度的測量。
1. 儀器特點:
Ø 同時分析元素周期表中由鈦(Ti)以上元素的鍍層厚度;
Ø 可以分析單層、雙層、三層等金屬及合金鍍層的厚度;
Ø 無需復雜的樣品預處理過程;分析測量動態(tài)范圍寬,可從0.01M到60M ;
Ø 采用的探測器技術及的處理線路,處理速度快,精度高,穩(wěn)定可靠;
Ø 采用正高壓激發(fā)的微聚焦的X光管,激發(fā)與測試條件采用計算機軟件數(shù)碼控制與顯示;
Ø 采用彩色攝像頭,準確觀察樣品并可拍照保存樣品圖像;
Ø 采用電動控制樣品平臺,可以進行X-Y-Z的,準確方便;
Ø 采用雙激光對焦系統(tǒng),準確定位測量位置;
Ø 度高,穩(wěn)定性好,故障率低;
Ø 采用多層屏蔽保護,安全性可靠;
Ø WINDOWS XP 中文應用軟件,特的分析方法,完備強大的功能,操作簡單,使用方便, 分析結果存入標準ACCESS數(shù)據(jù)庫;
2、儀器的技術特性
2.1 X-Y-Z樣品平臺裝置
X熒光測厚儀的X-Y-Z樣品平臺裝置具有可容納各種形態(tài)被測樣品的樣品室。
樣品種類:各種形狀的鍍層樣品,及電鍍液體樣品。
平臺:X-Y-Z采用電動方式,實用方便。

臺式x射線測厚儀可測量:單一鍍層:Zn,Ni,Cr,Cu,Ag,Au,Sn等。
二元合金層:例如Fe上的SnPb,ZnNi和NiP合金。
合金層:例如Ni上的AuCdCu合金。
雙鍍層:例如Au/Ni/Cu,Cr/Ni/Cu,Au/Ag/Ni,Sn/Cu/Brass,等等。
雙鍍層,其中一個鍍層為合金層:例如Cr/NiCu/Plastic;Fe。
應用領域:黃金、鉑、銀等貴金屬和各種首飾的含量檢測;金屬鍍層的厚度測量、電鍍液和鍍層含量的測定;貴金屬加工和首飾加工行業(yè);銀行、首飾銷售和檢測機構;電鍍行業(yè)。
快速、的分析:
大面積正比計數(shù)探測器和50瓦微聚焦X射線光管(X射線光束強度大、斑點小,樣品激發(fā)佳)相結合,提供靈敏度
簡單的元素區(qū)分:
通過次級射線濾波器分離元素的重疊光譜
性能優(yōu)化,可分析的元素范圍大:
預置800多種容易選擇的應用參數(shù)/方法
的長期穩(wěn)定性:
自動熱補償功能測量儀器溫度變化并做修正,確保穩(wěn)定的測試結果
例行進行簡單快速的波譜校準,可自動檢查儀器性能(例如靈敏性)并進行必要的修正
堅固耐用的設計
可在實驗室或生產(chǎn)操作
堅固的工業(yè)設計

產(chǎn)品應用領域
測量超微小部件和結構,如:印制線路板、連接器或引線框架等;
分析超薄鍍層,如:厚度薄至2nm的Au鍍層和≤30nm的Pd鍍層;
測量電子和半導體行業(yè)中的功能性鍍層;
分析復雜的多鍍層系統(tǒng);
全自動測量,如:用于質量控制領域;
符合ENIG/ENEPIG要求,符合DINISO3497,ASTMB568,IPC4552和IPC4556標準。
天瑞儀器股份有限公司集30多年X熒光膜厚測量技術,研發(fā)的一款全新上照式X射線熒光分析儀,該款儀器配置嵌入集成式多準直孔、濾光片自動切換裝置和雙攝像頭,不僅能展現(xiàn)測試部位的細節(jié),也能呈現(xiàn)出高清廣角視野;自動化的X/Y/Z軸的三維移動,實現(xiàn)對平面、凹凸、拐角、弧面等形態(tài)的樣品進行快速對焦分析。能地滿足半導體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試需求。
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