分析范圍0~50微米
分析誤差5%
分析時(shí)間30秒
重復(fù)性0.1%
電源電壓220V
EDX2000A能量色散X熒光光譜儀(全自動(dòng)微區(qū)膜厚測(cè)試儀)對(duì)平面、凹凸、拐角、弧面等簡(jiǎn)單及復(fù)雜形態(tài)的樣品進(jìn)行快速對(duì)焦分析,滿足半導(dǎo)體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測(cè)試需求。通過自動(dòng)化的X軸Y軸Z軸的三維移動(dòng),雙激光定位和保護(hù)系統(tǒng)。
應(yīng)用領(lǐng)域
電鍍行業(yè)、電子通訊、新能源、五金衛(wèi)浴、電器設(shè)備
汽車制造、磁性材料、貴金屬電鍍、高校及科研院所等
性能優(yōu)勢(shì)
1、結(jié)合鍍層行業(yè)微小樣品的檢測(cè)需求,專門研發(fā)適用于鍍層檢測(cè)的超近光路系統(tǒng),減少能量過程損耗。搭載的多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦管,大的提升了儀器的檢測(cè)性能,聚焦強(qiáng)度提升1000~10000倍,更高的檢測(cè)靈敏度和分析精度以及高計(jì)數(shù)率保證測(cè)試結(jié)果的性和穩(wěn)定性。
2、全景+微區(qū)雙相機(jī)設(shè)計(jì),呈現(xiàn)全高清廣角視野,讓樣品觀察更全面;微米級(jí)別分辨率,的滿足超微產(chǎn)品的測(cè)試,讓測(cè)試更廣泛更便捷。
3、的多導(dǎo)毛細(xì)管技術(shù),信號(hào)強(qiáng)度比金屬準(zhǔn)直系統(tǒng)高出幾個(gè)數(shù)量級(jí)。
4、多規(guī)格可選的多導(dǎo)毛細(xì)管,的滿足用戶不同測(cè)試需求。
5、高精度XYZ軸移動(dòng)測(cè)試平臺(tái),結(jié)合雙激光點(diǎn)位定位系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)在樣品測(cè)試過程中的全自動(dòng)化感受一鍵點(diǎn)擊,測(cè)試更省心。

2016年10月,工業(yè)和信息化部發(fā)布了三項(xiàng)機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為JB/T 12962.1-2016《能量色散X射線熒光光譜儀 第1部分:通用技術(shù)》、JB/T 12962.2-2016《能量色散X射線熒光光譜儀 第2部分:元素分析儀》和JB/T 12962.3-2016《能量色散X射線熒光光譜儀 第3部分:鍍層厚度分析儀》(以下簡(jiǎn)稱“三項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)”)。三項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)將于2017年4月1日正式實(shí)施。這三項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)均由天瑞儀器起草撰寫。
天瑞儀器作為在國(guó)內(nèi)的X熒光光譜儀生產(chǎn)廠商,X熒光光譜儀產(chǎn)品齊全、種類繁多,包括能量色散X射線熒光光譜儀、波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀等,基本覆蓋了X熒光光譜儀的所有產(chǎn)品。其在業(yè)內(nèi)的度獲得了國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理會(huì)的認(rèn)可。2010年,全國(guó)工業(yè)過程測(cè)量和控制標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)會(huì)分析儀器分技術(shù)會(huì)任命天瑞儀器為三項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)的主編單位。本次起草編撰歷時(shí)4年。經(jīng)過多次的驗(yàn)證、討論及意見征求, 2014年1月,天瑞儀器依據(jù)參編單位意見對(duì)標(biāo)準(zhǔn)工作組討論稿再次進(jìn)行修改并形成了標(biāo)準(zhǔn)送審稿。2016年10月,工業(yè)和信息化部批準(zhǔn)發(fā)布了該標(biāo)準(zhǔn),并定于2017年4月1日實(shí)施。
二十世紀(jì)七十年代末,我國(guó)引進(jìn)能量色散X射線熒光光譜儀投入使用,到90年代我國(guó)已具備自主生產(chǎn)能量色散X射線熒光光譜儀的能力。經(jīng)歷了近30年的發(fā)展,到二十一世紀(jì)初我國(guó)能量色散X射線熒光光譜儀生產(chǎn)技術(shù)已日臻成熟。目前,我國(guó)已有多家研制、生產(chǎn)、組裝能量色散X射線熒光光譜儀的廠商,其產(chǎn)品主要性能指標(biāo)基本接近國(guó)際水平。但是如何對(duì)能量色散X射線熒光光譜儀進(jìn)行有效的質(zhì)量評(píng)定,確保能量色散X射線熒光光譜儀的品質(zhì),目前國(guó)內(nèi)還沒有統(tǒng)一的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),相關(guān)企業(yè)基本按照自定的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn),難免造成儀器性能不穩(wěn)定、產(chǎn)品質(zhì)量參差不齊、使用者對(duì)儀器性能不了解、儀器購(gòu)銷貿(mào)易糾紛不斷等問題,嚴(yán)重影響了行業(yè)的健康發(fā)展。
三項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施將打破能量色散X射線熒光光譜儀行業(yè)的亂象,將規(guī)范本行業(yè)對(duì)于產(chǎn)品的技術(shù)要求及其測(cè)試方法,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步和發(fā)展;將為產(chǎn)品的合同訂立和產(chǎn)品交易提供技術(shù)支持,確保供貨方和使用方的和利益;將使相關(guān)學(xué)術(shù)交流中,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和測(cè)量結(jié)果的表述更加準(zhǔn)確、可靠,更具參考性;將為儀器的生產(chǎn)及制造過程中提供可做為驗(yàn)收依據(jù)的參考數(shù)據(jù)。

X射線測(cè)厚儀使用而實(shí)用的正比計(jì)數(shù)盒和電制冷探測(cè)器,以實(shí)在的價(jià)格定位滿足鍍層厚度測(cè)量的要求,且全新的更具有現(xiàn)代感的外形、結(jié)構(gòu)及色彩設(shè)計(jì),使儀器操作更人性化、更方便。
2、性能優(yōu)勢(shì)
長(zhǎng)效穩(wěn)定X銅光管
半導(dǎo)體硅片電制冷系統(tǒng),摒棄液氮制冷
采用天瑞儀器產(chǎn)品—信噪比增強(qiáng)器(SNE)
內(nèi)置高清晰攝像頭,方便用戶隨時(shí)觀測(cè)樣品
脈沖處理器,數(shù)據(jù)處理快速準(zhǔn)確
手動(dòng)開關(guān)樣品腔,操作安全方便
三重安全保護(hù)模式
整體鋼架結(jié)構(gòu)、外型高貴時(shí)尚
Fp軟件,無(wú)標(biāo)準(zhǔn)樣品時(shí)亦可測(cè)量
3、技術(shù)指標(biāo)
分析范圍: Ti-U,可分析3層15個(gè)元素
分析厚度:一般0.05-30um(不同元素厚度有所不同)
分析精度:多次測(cè)量穩(wěn)定性可達(dá)1%.
工作電壓:AC 110V/220V(建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源)
測(cè)量時(shí)間:40秒(可根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整)
探測(cè)器分辨率:(160±5)eV
光管高壓:5-50kV
管流:50μA-1000μA
環(huán)境溫度:15℃-30℃
環(huán)境濕度:30%-70%
準(zhǔn)直器:配置不同直徑準(zhǔn)直孔,小孔徑φ0.2mm

天瑞儀器在X射線熒光光譜儀行業(yè)屢創(chuàng)輝煌,譬如,生產(chǎn)的食品重金屬快速檢測(cè)儀EDX 3200S PLUS X,采用了能量色散X射線熒光光譜技術(shù)實(shí)現(xiàn)食品中微量重金屬有害元素的快速檢測(cè),操作簡(jiǎn)單,自動(dòng)化程度高,可同時(shí)檢測(cè)24個(gè)樣本;在多年同時(shí)式波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀的研發(fā)和產(chǎn)品化基礎(chǔ)上,在國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)資金支持下,融合的科技創(chuàng)新和發(fā)明,推出了國(guó)內(nèi)臺(tái)商業(yè)化順序式波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀——WDX 4000,為土壤重金屬檢測(cè)提供新支持;成功研發(fā)EXPLORER手持式能量色散X射線熒光光譜儀,促進(jìn)了儀器的小型化與便攜化等。
今后,天瑞儀器將繼續(xù)以“行業(yè)”為目標(biāo),不斷提升技術(shù)水平,使國(guó)產(chǎn)儀器媲美國(guó)外,走向國(guó)際。同時(shí),天瑞儀器著眼于日益嚴(yán)峻的環(huán)保形勢(shì),積極調(diào)整產(chǎn)品結(jié)構(gòu),致力于環(huán)保解決方案的提供,守護(hù)碧水藍(lán)天。與時(shí)俱進(jìn)開拓創(chuàng)新,用科學(xué)技術(shù)服務(wù)于國(guó)家,服務(wù)于,是每
江蘇天瑞儀器股份有限公司是具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高科技企業(yè),注冊(cè)資本49551.1725萬(wàn)。旗下?lián)碛刑K州天瑞環(huán)境科技有限公司、北京邦鑫偉業(yè)技術(shù)開發(fā)有限公司、上海貝西生物科技有限公司、天瑞環(huán)境科技(仙桃)有限公司、四川天瑞環(huán)境科技有限公司、河南省天瑞環(huán)境科技有限公司、廈門質(zhì)譜儀器儀表有限公司、蘇州智慧天瑞環(huán)??萍加邢薰尽⒑碧熘鹬呛?chuàng)新研究院有限公司九家全資子公司和江蘇國(guó)測(cè)檢測(cè)技術(shù)有限公司、上海磐合科學(xué)儀器股份有限公司、沁水璟盛生活垃圾全資源化有限公司、雅安天瑞水務(wù)有限公司、安岳天瑞水務(wù)有限公司五家控股子公司??偛课挥陲L(fēng)景秀麗的江蘇省昆山市陽(yáng)澄湖畔。公司從事光譜、色譜、質(zhì)譜等分析測(cè)試儀器及其軟件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
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